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蔵書情報

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書誌情報サマリ

タイトル

ドライプロセス表面処理大全　　技術大全シリーズ　　

著者名 関東学院大学材料・表面工学研究所／編
著者名ヨミ カントウ ガクイン ダイガク ザイリョウ ヒョウメン コウガク ケンキュウジョ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2019.3

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資料情報

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 請求記号 配架場所 帯出区分 付録区分 状態 貸出
1 総合館0011280435一般 566.7//技術・工業帯出可在庫  ○

書誌詳細

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書誌種別 図書
タイトル ドライプロセス表面処理大全　　技術大全シリーズ　　
タイトルヨミ ドライ プロセス ヒョウメン ショリ タイゼン
著者名 関東学院大学材料・表面工学研究所／編
著者名ヨミ カントウ ガクイン ダイガク ザイリョウ ヒョウメン コウガク ケンキュウジョ
シリーズ名 技術大全シリーズ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2019.3
ページ数、枚数 285p
大きさ 21cm
価格 ￥３０００
言語区分 日本語
ISBN13桁 978-4-526-07968-9
ISBN 4-526-07968-9
分類10版 566.7
分類9版 566.7
ジャンル（図書） 技術・テクノロジー
件名 金属表面処理、薄膜
内容紹介 真空や大気圧下で金属、無機化合物、有機化合物などの薄膜を形成する表面処理方法であるドライプロセス。真空技術や基板前処理などの基礎、PVD、CVD、エッチングなどの原理を解説し、応用例や最新技術等を紹介する。
利用対象 実務家（特定の職業）



目次


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